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激光共聚焦测量原理
文章来源: [网络] 佚名 2011-05-08 【大 中 小】 【打印】
测量原理的激光共聚焦显微镜
基本原则
这是一种新的非接触式测量方法相结合的原则,共聚焦音叉不像激光三角测量是常用的激光位移计的使用。
1。激光束从一个光源照射穿过物镜,它正迅速上升和下降的音叉运动为基础,并在重点对象。
2。从目标物体反射光通过半反射镜和一个针孔,达到了光接收元件。
3。根据共聚焦原理,当激光束在对象上重点,反射光,然后集中在针孔,通过它进入光接收元件。
4。通过测量在那个时间与传感器音叉的位置,对物体的距离可以准确测量。
激光共聚焦特性位移传感器
在焦点位置测量的距离意味着它不受表面反射率的任何变化。
此外,该发射器和接收器位于同一轴线上的事实消除了任何有关该对象的梯度方向可能出现的错误或入境。
该激光光束光斑直径保持在整个测量面积不变。
由于折射率变化点可以发现,电影的厚度可测工件从一个侧面
(透明物体时使用)
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